Oprema

Sistem za čiščenje substratov

Namembnost opreme

Oprema omogoča pripravo ultračistih površin za nanos tankih prevlek mehkih in trdnih snovi, predvsem tekočih kristalov.

Dostop do opreme

Skrbnik opreme: dr. Janez Pirš
Dostop dovoljen po dogovoru, ni posebnih omejitev

Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda

št.	Evidenčna št.	Naziv	Obdobje	Vodja	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	P1-0099	Fizika mehkih snovi, površin in nanostruktur	1.1.2004 - 31.12.2008	dr. Slobodan Žumer	6.131

Organizacije (1)

št.	Evidenčna št.	Razisk. organizacija	Kraj	Matična številka	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	0106	Institut "Jožef Stefan"	Ljubljana	5051606000	95.637