Nalaganje ...
Oprema
Linija za mikro in nanolitografijo z opremo za čisto sobo in analitično opremo
Namembnost opreme
Raziskovalna oprema je namenjena postavitvi čiste izdelavne linije in meritvenega sistema za mikro in nanolitografijo z izboljšanjem končne ločljivosti nanolitografije. Gre za sistem suhih komor, evaporator in sistema za vzdrževanje pogojev čiste sobe.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme:
dr. Dragan D. Mihailović
Oprema je dostopa po predhodnem dogovoru.Za uporabo zahtevnejše opreme je omogočeno šolanje. Cena storitev je odvisna od zahtevnosti meritev. Kontakt damjan.svetin@ijs.si
Oprema je dostopa po predhodnem dogovoru.Za uporabo zahtevnejše opreme je omogočeno šolanje. Cena storitev je odvisna od zahtevnosti meritev. Kontakt damjan.svetin@ijs.si
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
| št. | Evidenčna št. | Naziv | Obdobje | Vodja | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | P1-0040 | 1.1.2015 - 31.12.2021 | 2.379 |
Organizacije (1)
| št. | Evidenčna št. | Razisk. organizacija | Kraj | Matična številka | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 0106 | Ljubljana | 5051606000 | 95.638 |