Nalaganje ...
Oprema vir: ARIS

Pulzni napajalnik za magnetronsko naprševanje pri visoki pulzni moči

Namembnost opreme
Napajalnik deluje v sklopu vakuumskega sistema in magnetronskega izvira (katode). Zagotavlja kratke pulze (10-1000 µs) pri visoki vršni moči, kar omogoča popolno ionizacijo razpršenih atomov tarče
Dostop do opreme
Skrbnik opreme: dr. Matjaž Panjan
Po predhodnem dogovoru na naslov matjaz.panjan@ijs.si.
Raziskovalni projekti ARIS (1) Legenda
št. Evidenčna št. Naziv Obdobje Vodja Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  J2-2509  Samoorganizacija plazme v razelektritvah magnetronskega naprševanja  1.9.2020 - 29.2.2024  dr. Matjaž Panjan  3.521 
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
št. Evidenčna št. Naziv Obdobje Vodja Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  P2-0082  Tankoplastne strukture in plazemsko inženirstvo površin  1.1.2015 - 31.12.2021  dr. Miran Mozetič  5.018 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  0106  Institut "Jožef Stefan"  Ljubljana  5051606000  95.638 
Zgodovina ogledov
Priljubljeno