Nalaganje ...
Oprema
Poravnalnik mask
Namembnost opreme
Poravnalnik mask MA BA6 Gen 4 je sistem namenjen raziskovalnim ustanovam, univerzam in vzorčni proizvodnji. Poglavitni poudarek je na fleksibilnosti tako glede postopkov z valovnimi dolžinami 365 in 405 nm v 4 različnih načinih preslikave, od bližinske do vakuumske.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme:
dr. Janez Trontelj
Razvojno okolje se nahaja v Laboratoriju za mikroelektroniko. Za možnost uporabe razvojnega okolja kontaktirajte predstojnika LMFE prof. dr. Janeza Trontlja. http://www.fe.uni-lj.si/raziskovanje/oprema/
Razvojno okolje se nahaja v Laboratoriju za mikroelektroniko. Za možnost uporabe razvojnega okolja kontaktirajte predstojnika LMFE prof. dr. Janeza Trontlja. http://www.fe.uni-lj.si/raziskovanje/oprema/
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
| št. | Evidenčna št. | Naziv | Obdobje | Vodja | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | P2-0257 | 1.1.2014 - 31.12.2019 | 1.891 |
Organizacije (1)
| št. | Evidenčna št. | Razisk. organizacija | Kraj | Matična številka | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 1538 | Ljubljana | 1626965000 | 28.968 |