Nalaganje ...
Oprema
Fotolitografska oprema brez maske za izdelavo mikro/nano struktur in elementov
Namembnost opreme
MicroWriter ML3 Baby je kompaktni sistem za direktno optično litografijo, zasnovan za natančno izdelavo mikro- in nanostruktur na svetlobno občutljivih materialih. Opremljen je z motorizirano pozicionirno mizo visoke ločljivosti, ki omogoča zapis vzorcev na področju do 149 mm x 149 mm. Uporablja napreden laserski sistem z ločljivostjo do 1 µm in programsko opremo za avtomatizirano izpostavljanje mask ali posameznih vzorcev brez potrebe po klasičnih fotomaskah. Sistem omogoča hitro menjavo substratov različnih dimenzij in debelin ter vključuje integrirano optično kamero za poravnavo in kontrolo kakovosti v realnem času.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme:
dr. Danilo Vrtačnik
Oprema je nameščena v čistih prostorih laboratorija LMSE, namenjenih izvajanju fotolitografskih postopkov. Zunanji uporabniki lahko do opreme dostopajo z pripravo podatkov (layoutov), medtem ko ostale fotolitografske korake izvaja usposobljen operater. Po predhodnem dogovoru je oprema praviloma časovno neomejeno dostopna.
Oprema je nameščena v čistih prostorih laboratorija LMSE, namenjenih izvajanju fotolitografskih postopkov. Zunanji uporabniki lahko do opreme dostopajo z pripravo podatkov (layoutov), medtem ko ostale fotolitografske korake izvaja usposobljen operater. Po predhodnem dogovoru je oprema praviloma časovno neomejeno dostopna.
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
| št. | Evidenčna št. | Naziv | Obdobje | Vodja | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | P2-0244 | 1.1.2018 - 31.12.2027 | 1.566 |
Organizacije (1)
| št. | Evidenčna št. | Razisk. organizacija | Kraj | Matična številka | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 1538 | Ljubljana | 1626965000 | 28.997 |