Nalaganje ...
Oprema
Nadgradnja obstoječe raziskovalne opreme: Sistem za nanos tankoplastnih metalnih filmov – Lesker PVD75Pro (PVD pDC/rRF-MS)
Namembnost opreme
Možnost tankoplastnega nanosa dodatnih materialov (metalov in keramik) na polprevodniške substrate.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme:
dr. Janez Trontelj
Dostop do opreme je mogoč izključno po predhodnem dogovoru in v času, ko oprema ni zasedena z izvajanjem tekočih raziskav.
Dostop do opreme je mogoč izključno po predhodnem dogovoru in v času, ko oprema ni zasedena z izvajanjem tekočih raziskav.
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
| št. | Evidenčna št. | Naziv | Obdobje | Vodja | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | P2-0415 | 1.1.2022 - 31.12.2027 | 3.764 |
Organizacije (1)
| št. | Evidenčna št. | Razisk. organizacija | Kraj | Matična številka | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 1538 | Ljubljana | 1626965000 | 28.997 |