Elipsometer

Optična elipsometrija je nedestruktivna tehnika, ki se uporablja za raziskave površin, mejnih plasti in tankih filmov. Osnovni princip elipsometrije je merjenje sprememb polarizacije svetlobnega žarka, ki se odbije od vzorca. Odbito svetlobo zajemamo s pomočjo mikroskopskih objektivov, kar v kombinaciji s prostorsko razločeno detekcijo signala (slikanje) zmanjša velikost preiskovane površine na območje mikrometrov. Objektivi imajo ekstremno dolgo delovno razdaljo, kar omogoča analizo površin makroskopskih objektov. Dobimo povečano sliko vzorca v odbiti svetlobi po prehodu skozi set polarizacijskih optičnih elementov. Sliko zajemamo s pomočjo CCD kamere z nastavljivimi časi zaklopa in ojačanja intenzitete. Lateralna ločljivost sistema je 1 μm, kar omogoča izvajanje elipsometričnih meritev na mikrostrukturiranih  vzorcih. Možna je sprotna analiza večih izbranih območij hkrati.

Skrbnik opreme: dr. Martin Čopič
prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema