Oprema

Magnetronska izvira in napajalniki za vgradnjo v napravo za nanašanje niozkotemperaturnih prevlek

Namembnost opreme

Nanos trdih PVD prevlek pri temperaturi pod 200 °C z pulznim magnetronskim naprševanjem.

Dostop do opreme

Skrbnik opreme: dr. Peter Panjan
Spletni naslov: https://www.ijs.si/ijsw/Znotraj%20hi%C5%A1e/Desno?action=AttachFile&do=get&tar get=ARRS_Evidenca_opreme_2021.xlsx
Depozicija 3 µm debele trde prevleke na podlage, ki zasedajo volumen 400 mm v premeru in 400 mm v višino se oblikuje po dogovoru (cena vključuje izrabo tarč, porabo električne energije in delovnih plinov, mehansko predpripravo in čiščenje podlag, saržiranje, delo dveh operaterjev). Postopek nanašanja 3 µm debele prevleke traja okrog 8ur.

Raziskovalni projekti ARIS (3) Legenda

št.	Evidenčna št.	Naziv	Obdobje	Vodja	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	L2-2100	Razvoj nove generacije trdih prevlek s pulznim naprševanjem	1.5.2009 - 30.4.2012	dr. Peter Panjan	5.100
2.	L2-0858	Študij plazemskih parametrov pri kondicioniranju notranjih površin fuzijskega reaktorja	1.2.2008 - 30.1.2011	dr. Tomaž Gyergyek	3.652
3.	L2-9189	PVD trde prevleke kot alternativa za korozijsko zaščito Fe in Al zlitin	1.7.2007 - 30.6.2010	dr. Darinka Kek Merl	2.187

Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda

št.	Evidenčna št.	Naziv	Obdobje	Vodja	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	P2-0082	Tankoplastne strukture in plazemsko inženirstvo površin	1.1.2004 - 31.12.2008	dr. Anton Zalar	4.252

Organizacije (1)

št.	Evidenčna št.	Razisk. organizacija	Kraj	Matična številka	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	0106	Institut "Jožef Stefan"	Ljubljana	5051606000	90.834