Nalaganje ...
Oprema vir: ARIS

Linija za mikro in nanolitografijo z opremo za čisto sobo in analitično opremo

Namembnost opreme
Raziskovalna oprema je namenjena postavitvi čiste izdelavne linije in meritvenega sistema za mikro in nanolitografijo z izboljšanjem končne ločljivosti nanolitografije. Gre za sistem suhih komor, evaporator in sistema za vzdrževanje pogojev čiste sobe.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme: dr. Dragan D. Mihailović
Spletni naslov: https://www.ijs.si/ijsw/Znotraj%20hi%C5%A1e/Desno?action=AttachFile&do=get&tar get=ARRS_Evidenca_opreme_2021.xlsx
Oprema je dostopa po predhodnem dogovoru.Za uporabo zahtevnejše opreme je omogočeno šolanje. Cena storitev je odvisna od zahtevnosti meritev. Kontakt damjan.svetin@ijs.si
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
št. Evidenčna št. Naziv Obdobje Vodja Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  P1-0040  Dinamika kompleksnih nanosnovi  1.1.2015 - 31.12.2021  dr. Dragan D. Mihailović  2.136 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  0106  Institut "Jožef Stefan"  Ljubljana  5051606000  90.834 
Zgodovina ogledov
Priljubljeno