Oprema

Močnostni plazemski sistem za depozicijo nanosov tankih plasti s plazmo molekularnih plinov na vzorce večjih dimenzij

Namembnost opreme

Sistem je primeren za pripravo vzorcev industrijsko pomembnih dimenzij. Posebnost naprave je v tem, da omogoča nanos plasti z uporabo različnih prekurzorjev na vzorce premera do 0.4 m ter regulacijo moči za vzbujanje nizkotlačne plazme do 12 kW.

Dostop do opreme

Skrbnik opreme: dr. Miran Mozetič
Spletni naslov: https://www.ijs.si/ijsw/Znotraj%20hi%C5%A1e/Desno?action=AttachFile&do=get&tar get=ARRS_Evidenca_opreme_2021.xlsx
Oprema je običajno dostopna od ponedeljka do petka med 8:00 in 14:00. Za dogovor o uporabi se je potrebno dogovoriti z vodjo Odseka za tehnologijo površin.

Raziskovalni projekti ARIS (2) Legenda

št.	Evidenčna št.	Naziv	Obdobje	Vodja	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	L2-2616	Površinsko omejena selektivna funkcionalizacija polimernih komponent	1.9.2020 - 31.8.2023	dr. Miran Mozetič	3.400
2.	J2-1720	Okolju prijazna in-situ sinteza ZnO nanodelcev za razvoj zaščitnih tekstilij	1.7.2019 - 30.6.2022	dr. Marija Gorjanc	3.397

Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda

št.	Evidenčna št.	Naziv	Obdobje	Vodja	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	P2-0082	Tankoplastne strukture in plazemsko inženirstvo površin	1.1.2015 - 31.12.2021	dr. Miran Mozetič	4.658

Organizacije (1)

št.	Evidenčna št.	Razisk. organizacija	Kraj	Matična številka	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	0106	Institut "Jožef Stefan"	Ljubljana	5051606000	90.834

Filtri

Močnostni plazemski sistem za depozicijo nanosov tankih plasti s plazmo molekularnih plinov na vzorce večjih dimenzij

Zgodovina ogledov

Priljubljeno

Filtri

Močnostni plazemski sistem za depozicijo nanosov tankih plasti s plazmo molekularnih plinov na vzorce večjih dimenzij

Zahtevana je potrditev

Zgodovina ogledov

Priljubljeno