Nalaganje ...
Oprema vir: ARIS

Poravnalnik mask

Namembnost opreme
Poravnalnik mask MA BA6 Gen 4 je sistem namenjen raziskovalnim ustanovam, univerzam in vzorčni proizvodnji. Poglavitni poudarek je na fleksibilnosti tako glede postopkov z valovnimi dolžinami 365 in 405 nm v 4 različnih načinih preslikave, od bližinske do vakuumske.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme: dr. Janez Trontelj
Spletni naslov: http://lmfe.fe.uni-lj.si/o-nas/oprema/
Razvojno okolje se nahaja v Laboratoriju za mikroelektroniko. Za možnost uporabe razvojnega okolja kontaktirajte predstojnika LMFE prof. dr. Janeza Trontlja. http://www.fe.uni-lj.si/raziskovanje/oprema/
Raziskovalni projekti ARIS (2) Legenda
št. Evidenčna št. Naziv Obdobje Vodja Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  L2-9236  Metrologija v ekstremnih pogojih na osnovi teraherčnega valovanja  1.7.2018 - 30.6.2021  dr. Janez Trontelj  1.643 
2.  J7-8272  Integrirani večkanalni umetni nos za zaznavanje sledov molekul v parni fazi  1.5.2017 - 30.4.2020  dr. Igor Muševič  2.681 
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
št. Evidenčna št. Naziv Obdobje Vodja Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  P2-0257  Sistemi na čipu z integriranimi mikromehanskimi, s THz, z optičnimi, z magnetnimi in z elektrokemijskimi senzorji  1.1.2014 - 31.12.2019  dr. Janez Trontelj  1.819 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  1538  Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko  Ljubljana  1626965  27.788 
Zgodovina ogledov
Priljubljeno