Nalaganje ...
Oprema vir: ARIS

ProtoLaser LDI

Namembnost opreme
Platforma na osnovi kontinualnega UV laserja, 2D akusto-optičnih deflektorjev in visoko-natančne xy mize v prvi fazi omogoča neposredno optično nanolitografijo z ločljivostjo 1µm na področju 10x10cm. Zasnova platforme omogoča relativno preprosto nadgradnjo na ONL z uporabo imerzijskega objektiva in s tem povečanje ločljivosti na 200 nm. Z uporabo dveh laserskih virov različnih valovnih dolžin in večjo adaptacijo platforme je moč doseči ločljivost postopka na rangu 50 nm.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme: Damjan Svetin
Spletni naslov: www.nanocenter.si
prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  3050  Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije - Nanocenter, Ljubljana  Ljubljana  3666255  1.765 
Zgodovina ogledov
Priljubljeno