Projekti / Programi
Ionsko in kemijsko črpanje v UV vakuumu
| Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
| 2.09.05 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vakuumistika |
| Koda |
Veda |
Področje |
| T001 |
Tehnološke vede |
Elektronika in elektriška tehnologija |
| T210 |
Tehnološke vede |
Strojništvo, hidravlika, vakuumska tehnologija, vibracije in akustično inženirstvo |
vakuum, črpanje, ionska črpalka, magnetron, tanke plasti, titanove spojine, vodik, razprševanje
Raziskovalci (10)
| št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
| 1. |
07480 |
Marjan Drab |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
1999 - 2001 |
67 |
| 2. |
15703 |
dr. Janez Kovač |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
1998 - 2001 |
662 |
| 3. |
10429 |
dr. Miran Mozetič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
1999 - 2001 |
1.341 |
| 4. |
03066 |
dr. Vincenc Nemanič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
1998 - 2001 |
243 |
| 5. |
15884 |
Janez Novak |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2000 - 2001 |
13 |
| 6. |
09105 |
Borut Praček |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
1999 - 2001 |
113 |
| 7. |
01737 |
mag. Andrej Pregelj |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2000 - 2001 |
248 |
| 8. |
17622 |
Janez Trtnik |
|
Raziskovalec |
1998 - 2001 |
18 |
| 9. |
01741 |
dr. Anton Zalar |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
1999 - 2001 |
383 |
| 10. |
03366 |
Marko Žumer |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
1999 - 2001 |
108 |
Povzetek
Preiskovali bomo značilnosti nizkotlačnih razelektritev v prečnem električnem in magnetnem polju. Določili bomo karakteristike modelnih magnetronskih celic z različno konfiguracijo elektrod. Preučevali bomo razpršitveni količnik v odvisnosti od konfiguracije elektrod in jakosti električnega in magnetnega polja. Preučevali bomo vezavo molekul in atomov aktivnih plinov na površino anode in katode. Pripravili bomo modelne vzorce tankih plasti titanovih spojin in preučevali črpanje vodika na teh vzorcih. Določili bomo optimalno konstrukcijo večceličnih magnetronskih vložkov v ionski črpalki glede na črpalno hitrost, končni tlak, življenjsko dobo in ceno izdelave.
