Uporabne tehnologije silicijevih senzorjev tlaka

Evidenčna št.

L2-0774 (C) - iz evidence ARIS

Vodja

dr. Slavko Amon

Obdobje

1.7.1998 - 30.6.2001

Veda

Tehnika (7)
Drugi (2)

Status raziskovalca

Raziskovalec (7)
Strokovni ali tehnični sodelavec (2)

Izobrazba

Doktorat znanosti (3)
Magisterij (1)
Drugi (5)

Spol

Moški (9)

Status

Zaposlen v RO (1)
Zaposlen v RO+RRD (5)
Ni podatka o zaposlitvi v RO (1)
Upokojen (2)

Število publikacij

1–9 (2)
10–99 (1)
100–999 (6)

Projekti / Programi vir: ARIS

vir: ARIS

Uporabne tehnologije silicijevih senzorjev tlaka

Raziskovalna dejavnost

Koda	Veda	Področje	Podpodročje
2.09.02	Tehnika	Elektronske komponente in tehnologije	Elektronske komponente

Koda	Veda	Področje
T170	Tehnološke vede	Elektronika

Ključne besede

mikroobdelava, silicijev piezoresistivni senzor tlaka

Vrednotenje (pravilnik)

vir: COBISS

Vrednotenje bibliografskih kazalcev raziskovalne uspešnosti po metodologiji ARIS

Citiranost Citiranost bibliografskih zapisov v COBIB.SI, ki so povezani z zapisi citatnih baz

vir: WoS

vir: Scopus

vir: COBISS

Raziskovalci (9)

št.	Evidenčna št.	Ime in priimek	Razisk. področje	Vloga	Obdobje	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	11682	mag. Uroš Aljančič	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	1998 - 2001	206
2.	01926	dr. Slavko Amon	Elektronske komponente in tehnologije	Vodja	1998 - 2001	473
3.	08346	Darko Belavič	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	1999 - 2001	682
4.	17125	Matjaž Cvar		Raziskovalec	1998 - 2001	8
5.	19391	Mitja Jerlah		Raziskovalec	1998 - 2001	115
6.	17802	Ivan Lahne	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	1999 - 2001	4
7.	05075	dr. Drago Resnik	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	1998 - 2001	261
8.	05633	Stojan Šoba	Meroslovje	Raziskovalec	1999 - 2001	32
9.	04383	dr. Danilo Vrtačnik	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	1998 - 2001	309

Organizacije (2)

št.	Evidenčna št.	Razisk. organizacija	Kraj	Matična številka	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	1538	Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko	Ljubljana	1626965	27.763
2.	1704	HIPOT-RR raziskave in razvoj tehnologij in sistemov, d.o.o.	Otočec	5981344	759

Povzetek

Raziskovanje in študij mehanizmov na področju senzorike in na področju polprevodniških tehnologij za silicijeve piezoupornostne senzorje tlaka bodo omogočale boljše poznavanje tehnologije in lastnosti materialov ter interakcij med njimi. Pomen rezultatov je torej v glavnem doprinos k znanju o polprevodniških tehnologijah in materialih, predvsem na področju mikroobdelave (micromachining) silicija. Obenem je tudi doprinos k znanju o lastnostih in karakteristikah silicijevih piezoupornostnih senzorjev tlaka s specifično difundiranimi upori, ki se razlikujejo od standardnih polprevodniških komponent zaradi zahtevanih lastnosti senzorjev tlaka. Pričakujemo tudi nove rešitve na področju oblikovanja in načrtovanja senzorskega elementa, kar bo doprineslo k izboljšanim lastnostim silicijevih membranskih senzorskih struktur. V svetu prevladuje mnenje, da bo mikroobdelava silicija ena izmed glavnih raziskovalnih in tehnoloških usmeritev na področju senzorjev v prihajajočem obdobju. Večji del tehnoloških znanj, ki bodo nastala kot rezultat projekta uporabnega raziskovanja, bo uporabljen pri razvoju konkretnih senzorjev tlaka. Raziskovalni projekt glede na število ur sicer ni zelo intenziven, vendar je za aplikacijo zelo pomembno, da se te aktivnosti odvijajo in so osnova za razvojne projekte. Do konca projekta bo izdelanih nekaj prototipov senzorja tlaka, pa tudi tehnološko znanje bo ostalo dokumentirano za prvo možno serijsko uporabo. Vsekakor pa bodo rezultati aplikativnega raziskovalnega projekta pomagali uporabniku, da bo imel možnost ostati konkurenčen na področju senzorjev tlaka. Tehnološka znanja, ki bodo nastala kot rezultat raziskav v okviru predlaganega projekta, spadajo v prvo skupino izbora kritičnih tehnologij, ki bodo po nekaterih kriterijih nosilne v naslednjih desetih letih v Sloveniji.