Nalaganje ...
Projekti / Programi vir: ARIS

Uporabne tehnologije silicijevih senzorjev tlaka

Raziskovalna dejavnost

Koda Veda Področje Podpodročje
2.09.02  Tehnika  Elektronske komponente in tehnologije  Elektronske komponente 

Koda Veda Področje
T170  Tehnološke vede  Elektronika 
Ključne besede
mikroobdelava, silicijev piezoresistivni senzor tlaka
Vrednotenje (pravilnik)
vir: COBISS
Raziskovalci (9)
št. Evidenčna št. Ime in priimek Razisk. področje Vloga Obdobje Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  11682  mag. Uroš Aljančič  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  1998 - 2001  206 
2.  01926  dr. Slavko Amon  Elektronske komponente in tehnologije  Vodja  1998 - 2001  473 
3.  08346  Darko Belavič  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  1999 - 2001  682 
4.  17125  Matjaž Cvar    Raziskovalec  1998 - 2001 
5.  19391  Mitja Jerlah    Raziskovalec  1998 - 2001  115 
6.  17802  Ivan Lahne  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  1999 - 2001 
7.  05075  dr. Drago Resnik  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  1998 - 2001  261 
8.  05633  Stojan Šoba  Meroslovje  Raziskovalec  1999 - 2001  32 
9.  04383  dr. Danilo Vrtačnik  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  1998 - 2001  309 
Organizacije (2)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  1538  Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko  Ljubljana  1626965  27.738 
2.  1704  HIPOT-RR raziskave in razvoj tehnologij in sistemov, d.o.o.  Otočec  5981344  759 
Povzetek
Raziskovanje in študij mehanizmov na področju senzorike in na področju polprevodniških tehnologij za silicijeve piezoupornostne senzorje tlaka bodo omogočale boljše poznavanje tehnologije in lastnosti materialov ter interakcij med njimi. Pomen rezultatov je torej v glavnem doprinos k znanju o polprevodniških tehnologijah in materialih, predvsem na področju mikroobdelave (micromachining) silicija. Obenem je tudi doprinos k znanju o lastnostih in karakteristikah silicijevih piezoupornostnih senzorjev tlaka s specifično difundiranimi upori, ki se razlikujejo od standardnih polprevodniških komponent zaradi zahtevanih lastnosti senzorjev tlaka. Pričakujemo tudi nove rešitve na področju oblikovanja in načrtovanja senzorskega elementa, kar bo doprineslo k izboljšanim lastnostim silicijevih membranskih senzorskih struktur. V svetu prevladuje mnenje, da bo mikroobdelava silicija ena izmed glavnih raziskovalnih in tehnoloških usmeritev na področju senzorjev v prihajajočem obdobju. Večji del tehnoloških znanj, ki bodo nastala kot rezultat projekta uporabnega raziskovanja, bo uporabljen pri razvoju konkretnih senzorjev tlaka. Raziskovalni projekt glede na število ur sicer ni zelo intenziven, vendar je za aplikacijo zelo pomembno, da se te aktivnosti odvijajo in so osnova za razvojne projekte. Do konca projekta bo izdelanih nekaj prototipov senzorja tlaka, pa tudi tehnološko znanje bo ostalo dokumentirano za prvo možno serijsko uporabo. Vsekakor pa bodo rezultati aplikativnega raziskovalnega projekta pomagali uporabniku, da bo imel možnost ostati konkurenčen na področju senzorjev tlaka. Tehnološka znanja, ki bodo nastala kot rezultat raziskav v okviru predlaganega projekta, spadajo v prvo skupino izbora kritičnih tehnologij, ki bodo po nekaterih kriterijih nosilne v naslednjih desetih letih v Sloveniji.
Zgodovina ogledov
Priljubljeno