Filtri
cris logo
-
Novo iskanje Filtri
Izberi iz seznama
Prikazano od Prikaži več
Dosegli ste najvišje možno število prikazanih rezultatov iskanja.
Prikazani so vsi rezultati
Za izvedeno iskanje ni na voljo rezultatov
Prikazano od
Dosegli ste najvišje možno število prikazanih rezultatov iskanja.
Prikazani so vsi rezultati
Nalaganje rezultatov
Pridobivanje statističnih podatkov

Projekti / Programi vir: ARIS

Karakterizacija notranjih faznih mej in večplastnih struktur

Uredi
Raziskovalna dejavnost

Koda Veda Področje Podpodročje
2.09.06  Tehnika  Elektronske komponente in tehnologije  Karakterizacija elektronskih komponent in materialov 

Koda Veda Področje
T155  Tehnološke vede  Prevleke in površinska obdelava 
Ključne besede
površine, notranje fazne meje, tanke plasti, prevleke, večplastne strukture, fazne premene, difuzija, reakcije v trdnem, ionsko mešanje, profilna analiza, globinska ločljivost, AES, XPS, intermetalne spojine, novi materiali
Vrednotenje (pravilnik)
vir: COBISS
Vrednotenje bibliografskih kazalcev raziskovalne uspešnosti po metodologiji ARIS
Citiranost Citiranost bibliografskih zapisov v COBIB.SI, ki so povezani z zapisi citatnih baz
vir: WoS vir: Scopus vir: COBISS
Raziskovalci (8)
št. Evidenčna št. Ime in priimek Razisk. področje Vloga Obdobje Štev. publikacij
1.  18635  Tatjana Filipič    Raziskovalec  2002 - 2004  24 
2.  08028  Miha Kocmur    Raziskovalec  2002 - 2003  15 
3.  15703  dr. Janez Kovač  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  670 
4.  10429  dr. Miran Mozetič  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  1.352 
5.  09105  Borut Praček  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  113 
6.  17622  Janez Trtnik    Raziskovalec  2002 - 2004  18 
7.  20048  dr. Alenka Vesel  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2003  689 
8.  01741  dr. Anton Zalar  Elektronske komponente in tehnologije  Vodja  2002 - 2004  383 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacij
1.  0106  Institut "Jožef Stefan"  Ljubljana  5051606000  90.649 
Povzetek
Različne modelne večplastne strukture kovina/kovina in kovina/oksid bomo z naprševanjem nanesli na gladke podlage iz silicija. Dobro definirane večplastne strukture s poznano debelino tankih plasti in hrapavostjo površine bomo po njihovi globini preiskali z visoko ločljivo AES profilno analizo. Pri tem bomo uporabili dva ionska curka in/ali vrtenje vzorca, nizko energijo ionskega curka in poševen vpadni kot ionov. Reakcije na faznih mejah bomo povzročili z gretjem in/ali ionskim mešanjem večplastnih struktur. Sestavo, kristalno strukturo in topografijo površine svežih in obdelanih večplastnih struktur bomo preiskali z ustreznimi metodami, kot so AES, XPS, SEM, TEM, XRD, EXAFS in AFM. Dobljeni rezultati bodo omogočili določitev termodinamičnih in kinetičnih podatkov, ki za začetek reakcij na faznih mejah tankih plasti niso poznani. Znanje pridobljeno v okviru tega dela nam bo v pomoč pri karakterizaciji tehnoloških vzorcev. Uporabnost rezultatov je predvidena na področju znanosti površin in faznih mej, za tehnologijo tankih plasti in prevlek in za obdelavo površin.
Zahtevana je potrditev
Zgodovina ogledov
Priljubljeno