Projekti / Programi
Karakterizacija notranjih faznih mej in večplastnih struktur
| Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
| 2.09.06 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
Karakterizacija elektronskih komponent in materialov |
| Koda |
Veda |
Področje |
| T155 |
Tehnološke vede |
Prevleke in površinska obdelava |
površine, notranje fazne meje, tanke plasti, prevleke, večplastne strukture, fazne premene, difuzija, reakcije v trdnem, ionsko mešanje, profilna analiza, globinska ločljivost, AES, XPS, intermetalne spojine, novi materiali
Raziskovalci (8)
| št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
| 1. |
18635 |
Tatjana Filipič |
|
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
24 |
| 2. |
08028 |
Miha Kocmur |
|
Raziskovalec |
2002 - 2003 |
15 |
| 3. |
15703 |
dr. Janez Kovač |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
686 |
| 4. |
10429 |
dr. Miran Mozetič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
1.364 |
| 5. |
09105 |
Borut Praček |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
113 |
| 6. |
17622 |
Janez Trtnik |
|
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
18 |
| 7. |
20048 |
dr. Alenka Vesel |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2003 |
701 |
| 8. |
01741 |
dr. Anton Zalar |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
2002 - 2004 |
383 |
Organizacije (1)
| št. |
Evidenčna št. |
Razisk. organizacija |
Kraj |
Matična številka |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
| 1. |
0106 |
Institut "Jožef Stefan" |
Ljubljana |
5051606000 |
91.575 |
Povzetek
Različne modelne večplastne strukture kovina/kovina in kovina/oksid bomo z naprševanjem nanesli na gladke podlage iz silicija. Dobro definirane večplastne strukture s poznano debelino tankih plasti in hrapavostjo površine bomo po njihovi globini preiskali z visoko ločljivo AES profilno analizo. Pri tem bomo uporabili dva ionska curka in/ali vrtenje vzorca, nizko energijo ionskega curka in poševen vpadni kot ionov. Reakcije na faznih mejah bomo povzročili z gretjem in/ali ionskim mešanjem večplastnih struktur. Sestavo, kristalno strukturo in topografijo površine svežih in obdelanih večplastnih struktur bomo preiskali z ustreznimi metodami, kot so AES, XPS, SEM, TEM, XRD, EXAFS in AFM. Dobljeni rezultati bodo omogočili določitev termodinamičnih in kinetičnih podatkov, ki za začetek reakcij na faznih mejah tankih plasti niso poznani. Znanje pridobljeno v okviru tega dela nam bo v pomoč pri karakterizaciji tehnoloških vzorcev. Uporabnost rezultatov je predvidena na področju znanosti površin in faznih mej, za tehnologijo tankih plasti in prevlek in za obdelavo površin.
