Nalaganje ...
Projekti / Programi vir: ARIS

Tehnologije silicijevih senzorjev tlaka

Raziskovalna dejavnost

Koda Veda Področje Podpodročje
2.09.02  Tehnika  Elektronske komponente in tehnologije  Elektronske komponente 

Koda Veda Področje
T171  Tehnološke vede  Mikroelektronika 
Ključne besede
senzorji tlaka, mikroobdelava silicija, polprevodniška tehnologija
Vrednotenje (pravilnik)
vir: COBISS
Raziskovalci (12)
št. Evidenčna št. Ime in priimek Razisk. področje Vloga Obdobje Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  11682  mag. Uroš Aljančič  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  206 
2.  01926  dr. Slavko Amon  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  473 
3.  08346  Darko Belavič  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  682 
4.  17125  Matjaž Cvar    Raziskovalec  2002 - 2004 
5.  20186  dr. Matej Možek  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  270 
6.  16034  dr. Marko Pavlin  Meroslovje  Raziskovalec  2002 - 2004  110 
7.  02313  dr. Boštjan Peršič  Energetika  Raziskovalec  2002 - 2004  138 
8.  05075  dr. Drago Resnik  Elektronske komponente in tehnologije  Vodja  2002 - 2004  261 
9.  04378  dr. Marina Santo Zarnik  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  374 
10.  19394  Lojze Simončič    Raziskovalec  2002 - 2004 
11.  04383  dr. Danilo Vrtačnik  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2002 - 2004  309 
12.  17129  Marijan Žurga    Raziskovalec  2002 - 2004 
Organizacije (2)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  1538  Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko  Ljubljana  1626965  27.738 
2.  1704  HIPOT-RR raziskave in razvoj tehnologij in sistemov, d.o.o.  Otočec  5981344  759 
Povzetek
Raziskani bodo kritični pojavi pri silicijevih piezouporovnih senzorjih, ki omejujejo osnovne lastnosti kot so ničelna napetost, linearnost odziva, časovna stabilnost in druge. Na podlagi analize prisotnih mehanskih napetosti v tankih plasteh na membrani, dolgoročne stabilnosti delovanja ter ustreznih tehnoloških rešitev pri mikroobdelavi silicija bodo, ob upoštevanju predhodnega dela, raziskani, načrtani in realizirani izboljšani prototipi senzorjev tlaka za nizka merilna območja. Analizirana bo tudi možnost miniaturizacije obstoječih piezouporovnih senzorjev tlaka za nove aplikacije, za katere obstaja na tržišču povečano zanimanje. V okviru predloženega dela bo realiziran tudi zajem in obdelava merjenih veličin z ustreznim elektronskim vezjem na osnovi mikrokontrolerja, ki bo skupaj s senzorskim elementom tvoril t.i. "smart senzor". Izdelani sistem bo uporabljen v proizvodnji merilnikov tlaka za medicinske in druge aplikacije. Rezultati in znanja, izvirajoči iz predloženega dela, bodo služili kot dobra podpora slovenski industriji v njenih prizadevanjih, da obstane v področju visokih tehnologij na zahtevnem svetovnem trgu.
Zgodovina ogledov
Priljubljeno