Tehnologije silicijevih senzorjev tlaka

Evidenčna št.

L2-3025 (C) - iz evidence ARIS

Vodja

dr. Drago Resnik

Obdobje

1.7.2001 - 30.6.2004

Obseg v 2004

0.82 FTE

Veda

Tehnika (9)
Drugi (3)

Status raziskovalca

Raziskovalec (9)
Strokovni ali tehnični sodelavec (3)

Izobrazba

Doktorat znanosti (7)
Magisterij (1)
Drugi (4)

Spol

Ženski (1)
Moški (11)

Status

Zaposlen v RO+RRD (7)
Upokojen (3)
Umrl (2)

Število publikacij

0 (2)
1–9 (1)
100–999 (9)

Projekti / Programi vir: ARIS

vir: ARIS

Tehnologije silicijevih senzorjev tlaka

Raziskovalna dejavnost

Koda	Veda	Področje	Podpodročje
2.09.02	Tehnika	Elektronske komponente in tehnologije	Elektronske komponente

Koda	Veda	Področje
T171	Tehnološke vede	Mikroelektronika

Ključne besede

senzorji tlaka, mikroobdelava silicija, polprevodniška tehnologija

Vrednotenje (pravilnik)

vir: COBISS

Vrednotenje bibliografskih kazalcev raziskovalne uspešnosti po metodologiji ARIS

Citiranost Citiranost bibliografskih zapisov v COBIB.SI, ki so povezani z zapisi citatnih baz

vir: WoS

vir: Scopus

vir: COBISS

Raziskovalci (12)

št.	Evidenčna št.	Ime in priimek	Razisk. področje	Vloga	Obdobje	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	11682	mag. Uroš Aljančič	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	2002 - 2004	206
2.	01926	dr. Slavko Amon	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	2002 - 2004	473
3.	08346	Darko Belavič	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	2002 - 2004	682
4.	17125	Matjaž Cvar		Raziskovalec	2002 - 2004	8
5.	20186	dr. Matej Možek	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	2002 - 2004	270
6.	16034	dr. Marko Pavlin	Meroslovje	Raziskovalec	2002 - 2004	110
7.	02313	dr. Boštjan Peršič	Energetika	Raziskovalec	2002 - 2004	138
8.	05075	dr. Drago Resnik	Elektronske komponente in tehnologije	Vodja	2002 - 2004	261
9.	04378	dr. Marina Santo Zarnik	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	2002 - 2004	374
10.	19394	Lojze Simončič		Raziskovalec	2002 - 2004	0
11.	04383	dr. Danilo Vrtačnik	Elektronske komponente in tehnologije	Raziskovalec	2002 - 2004	309
12.	17129	Marijan Žurga		Raziskovalec	2002 - 2004	0

Organizacije (2)

št.	Evidenčna št.	Razisk. organizacija	Kraj	Matična številka	Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.	1538	Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko	Ljubljana	1626965	27.774
2.	1704	HIPOT-RR raziskave in razvoj tehnologij in sistemov, d.o.o.	Otočec	5981344	759

Povzetek

Raziskani bodo kritični pojavi pri silicijevih piezouporovnih senzorjih, ki omejujejo osnovne lastnosti kot so ničelna napetost, linearnost odziva, časovna stabilnost in druge. Na podlagi analize prisotnih mehanskih napetosti v tankih plasteh na membrani, dolgoročne stabilnosti delovanja ter ustreznih tehnoloških rešitev pri mikroobdelavi silicija bodo, ob upoštevanju predhodnega dela, raziskani, načrtani in realizirani izboljšani prototipi senzorjev tlaka za nizka merilna območja. Analizirana bo tudi možnost miniaturizacije obstoječih piezouporovnih senzorjev tlaka za nove aplikacije, za katere obstaja na tržišču povečano zanimanje. V okviru predloženega dela bo realiziran tudi zajem in obdelava merjenih veličin z ustreznim elektronskim vezjem na osnovi mikrokontrolerja, ki bo skupaj s senzorskim elementom tvoril t.i. "smart senzor". Izdelani sistem bo uporabljen v proizvodnji merilnikov tlaka za medicinske in druge aplikacije. Rezultati in znanja, izvirajoči iz predloženega dela, bodo služili kot dobra podpora slovenski industriji v njenih prizadevanjih, da obstane v področju visokih tehnologij na zahtevnem svetovnem trgu.