Filtri
cris logo
-
Novo iskanje Filtri
Izberi iz seznama
Prikazano od Prikaži več
Dosegli ste najvišje možno število prikazanih rezultatov iskanja.
Prikazani so vsi rezultati
Za izvedeno iskanje ni na voljo rezultatov
Prikazano od
Dosegli ste najvišje možno število prikazanih rezultatov iskanja.
Prikazani so vsi rezultati
Nalaganje rezultatov
Pridobivanje statističnih podatkov

Projekti / Programi vir: ARIS

Elektronsko optični risalnik za nanolitografijo

Uredi
Raziskovalna dejavnost

Koda Veda Področje Podpodročje
2.09.00  Tehnika  Elektronske komponente in tehnologije   

Koda Veda Področje
P180  Naravoslovno-matematične vede  Meroslovje, fizikalna instrumentacija 
T171  Tehnološke vede  Mikroelektronika 
Ključne besede
elektronski risalnik, nanolitografija, nanoemiter, hladen vir elektronov
Vrednotenje (pravilnik)
vir: COBISS
Vrednotenje bibliografskih kazalcev raziskovalne uspešnosti po metodologiji ARIS
Citiranost Citiranost bibliografskih zapisov v COBIB.SI, ki so povezani z zapisi citatnih baz
vir: WoS vir: Scopus vir: COBISS
Raziskovalci (4)
št. Evidenčna št. Ime in priimek Razisk. področje Vloga Obdobje Štev. publikacij
1.  03066  dr. Vincenc Nemanič  Elektronske komponente in tehnologije  Vodja  2005 - 2008  245 
2.  23624  Matjaž Ptičar  Konstruiranje  Raziskovalec  2005 - 2008  0 
3.  20335  dr. Bojan Zajec  Gradbeništvo  Raziskovalec  2005 - 2008  182 
4.  03366  Marko Žumer  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2005 - 2008  110 
Organizacije (2)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacij
1.  0106  Institut "Jožef Stefan"  Ljubljana  5051606000  90.706 
2.  7741  LPKF LASER & ELECTRONICS d.o.o.  Naklo  5711096  314 
Povzetek
Zamisel Elektronsko optičnega risalnika za nanolitografijo temelji na dosedaj izkazanim prednostim nanoemiterja, uporabljenega kot točkast vir elektronov. Informacija o jakosti toka na danem mestu se zapiše preko kemijske reakcije, ki jo elektroni sprožijo na tarči, oz. v organskem rezistu. Ideja projekta nadalje sloni na miniaturizaciji elektronsko optičnega sistema, kar omogoča delovanje risalnika v območju 1 KV. S tem je bistveno zmanjšana globina sledi in posredno zmanjšana razširitev sledi, kar omejuje ločljivost današnjih naprav z energijo elektronov 30 KeV ali več.
Zahtevana je potrditev
Zgodovina ogledov
Priljubljeno