Predstavljeni so rezultati študije izvedljivosti piezoelektričnega resonančnega senzorja tlaka s PZT debeloplastnim aktuatorskim/senzorskim elementom izdelanim na pred-žgani 3D LTCC strukturi. Opisan je princip delovanja senzorja, tehnološki postopek izdelave debeloplastne senzorske/aktuatorske strukture, karakterizacija dveh debeloplastnih PZT materialov in meritve poskusnih senzorjev. Numerične analize v katerih so uporabljeni eksperimentalno ovrednoteni materialni parametri so pomagale pri študiju in optimizaciji senzorske strukture.
F.02 Pridobitev novih znanstvenih spoznanj
COBISS.SI-ID: 21688103Piezoelektrični resonančni senzor tlaka je zaradi relativno visoke občutljivosti obravnavan kot obetaven kandidat za uporabo v nizkem tlačnem področju. Predstavljene so numerične in eksperimentalne analize. Posebej so obravnavani nekateri kritični parametri, predvsem v zvezi s ponovljivostjo, stabilnostjo, staranjem in tudi vpliv montaže/ohišenja in neželenih vibracij.
F.08 Razvoj in izdelava prototipa
COBISS.SI-ID: 22030887V primerjalni študiji je obravnavan dizajn in izdelava različnih tipov membranskih keramičnih senzorjev tlaka v LTCC, načrtovanih za merjenje nizkih tlakov do nekaj 10 kPa. Poudarek je na tehnologiji piezouporovnih in kapacitivnih senzorjev tlaka različnih dimenzij (debeline membrane 100 in 200 um ter premera 25 mm, 15 mm in 8 mm). Največja občutljivost, ki smo jo dosegli za piezouporovni senzor je znašala 500 µV/V/kPa in 20 fF/kPa za kapacitivni senzor, kar je zelo obetaven rezultat s stališča potencialne uporabe.
B.03 Referat na mednarodni znanstveni konferenci
COBISS.SI-ID: 22941735Predstavljena študija obsega numerične analize, načrtovanje, izdelavo in karakterizacijo poskusnih struktur ter testiranje piezouporovnih LTCC senzorjev tlaka za tlačno področje do 3 kPa. Senzorji so bili načrtovani glede na zahteve industrijskega partnerja. Numerične in eksperimentalne analize ter tipski preizkusi, ki so obsegali tudi meritve dolgoročne stabilnosti in testiranje vzdržljivosti (fatigue) so potrdili ustreznost prototipov za uporabo v načrtovanem področju.
F.08 Razvoj in izdelava prototipa
COBISS.SI-ID: 22942503Pri razvoju piezouporovnega LTCC senzorja tlaka za medicinsko uporabo (v skladu z AAMI in ICE standardi) je posebna pozornost bila namenjena analizi kritičnih korakov pri postopku izdelave senzorjev, ki so pomembni predvsem v primeru izdelave večjih serij senzorjev. Predstavljeni so rezultati eksperimentalne in numerične analize najbolj kritičnih točk postopka in predlagane ustrezne rešitve.
F.06 Razvoj novega izdelka
COBISS.SI-ID: 24081703