Predstavljeni so rezultati študije izvedljivosti piezoelektričnega resonančnega senzorja tlaka s PZT debeloplastnim aktuatorskim/senzorskim elementom izdelanim na pred-žgani 3D LTCC strukturi. Opisan je princip delovanja senzorja, tehnološki postopek izdelave debeloplastne senzorske/aktuatorske strukture, karakterizacija materialov in meritve poskusnih senzorjev. Obsežne numerične in eksperimentalne analize so pomagale pri študiju in optimizaciji senzorske strukture.
F.02 Pridobitev novih znanstvenih spoznanj
COBISS.SI-ID: 21688103Nadaljevanje študije izvedljivosti podane pod točko 1. Piezoelektrični resonančni senzor tlaka je obravnavan kot obetaven kandidat za nizko tlačno področje. Predstavljene so numerične in eksperimentalne analize. Posebej so obravnavani nekateri kritični parametri, predvsem v zvezi s ponovljivostjo, stabilnostjo, staranjem in tudi vpliv montaže/ohišenja in neželjenih vibracij.
F.08 Razvoj in izdelava prototipa
COBISS.SI-ID: 22030887