Samoorganizirani vzorci so možna alternativna metoda za izdelavo nanostruktur. Med iradiacijo materiala z ionskim snopom se oblikujejo valovite strukture z valovnimi dolžinami reda velikosti 1 - 100 nm. Kontrolirano rast dosežemo s pravilno izbiro parametrov ionskega snopa in materiala. Dobro urejene površinske strukture lahko pripravimo z majhnimi stroški na velikih površinah, kar odpira možnosti za aplikacije, kot so n. pr. mreže kvantnih pik z dobro kontroliranimi optoelektronskimi lastnostmi, ali magnetni mediji za zelo gosto shranjevanje podatkov.
B.03 Referat na mednarodni znanstveni konferenci
COBISS.SI-ID: 676778Neposredno smo izmerili debelino nekaj 10 nm debele oksidne plasti iz visokoločljive SEM slike preseka vzorca. Vzorec na nosilcu smo vstavili v AES/SEM/XPS s fiksnim ionskim izvorom in možnostjo nagiba in azimutalne rotacije vzorca. Ob konstantnih parametrih jedkanja smo izmerili AES globinske profile oksidne plasti pri različnih vpadnih kotih ionskega curka. Posebno izdelan nosilec vzorca z nagnjeno zgornjo ploskvijo omogoča prek ustreznih vrednosti nagiba in azimutalne rotacije vpadne kote 0 - 90°. Totalni jedkalni čas pri vsakem kotu je obratno sorazmeren jedkalni hitrosti.
B.03 Referat na mednarodni znanstveni konferenci
COBISS.SI-ID: 704682