Kapacitivni senzorski element je rezultat 3D oblikovanja keramične strukture z zračno režo (premera 9 mm in višine 70-100 um) med upogljivo membrano (200 um), na kateri je ena elektroda in fiksno osnovo z drugo elektrodo spremenljivega kondenzatorja. Izdelan je z uporabo LTCC materiala DP951 s postopkom laminacije ustrezno razrezanih listov nežgane keramike in sočasnim žganjem debeloplastnih elektrod. Predstavljeni so rezultati karakterizacije senzorskih elementov z dodano elektroniko za frekvenčni izhod ter analiza temperaturne odvisnosti tlačne karakteristike.
COBISS.SI-ID: 22031399
Predstavljena je primerjalna analiza treh različnih membranskih keramičnih senzorjev tlaka, ki delujejo na različnih principih (piezouporovni, piezoelekrični resonančni in kapacitivni) s stališča porabe energije in primernosti za uporabo v varčnih brezžičnih senzorskih sistemih
COBISS.SI-ID: 22021927