Opravljena je bila študija naprševanja tankih Al plasti na Si in and SiO2 iz dveh različnih sestav tarče v odvisnosti od temperature predgrevanja ter končnega napuščanja. Velikost Al zrn se je povečala če je bilo naprševanje izvedeno iz Al-Si trče v primerjavi z Al-Si-Cu sestavo. Z EBSD je bila določena (111) tekstura Al plasti, če je bila podlaga Si, oziroma (101), če je bila podlaga SiO2.
COBISS.SI-ID: 9074772
V delu je predstavljen dizajn in izdelava metanolnega mikrosežigalnika na osnovi MEMS tehnologije in tankoplastnega Pt/CeO2 katalizatorja. Raziskani so bili kritični parametri gorenja kot so vžigna temperature, parcialni tlak metanola, mešalna razmerja matanola in zraka ter zadrževalni časi v komori. Z optimizacijo smo dosegli izredno stabilno delovanje (320±2 °C) pri zelo majhni porabi energenta (1.45 ml h-1).
COBISS.SI-ID: 9134420
V tem delu je opisan sistem reaktivnega ionskega jedkanja silicija in mehanizem usmerjenega jedkanja s SF6/O2-kemijo. Raziskana je bila odvisnost jedkanja od ključnih procesnih parametrov ter prikazana implementacija jedkanja pri izdelavi silicijevih mikrostruktur. Tipični rezultat jedkanja je: hitrost 1 do 2 µm/min, lateralno spodjedkavanje 5-10 % glede na globino jedkanja, razmerje med višino in širino struktur manjše od 6 in selektivnost na oksidno oziroma masko iz fotorezista 100 oziroma 20.
COBISS.SI-ID: 9312596
Impedančna spektroskopija suspenzij zaobseže merjenje impedance medija in visoke impedance dvojne plasti - efekt tanke nabite plasti, ki se tvori na meji elektrode in elektrolita. Načrtali in izdelali smo merilno celico s spremenljivim pomikom elektrode za dvoelektrodno impedančno spektroskopijo suspenzij. S spreminjanjem razdalje med elektrodama smo iz merjenih podatkov izolirali impedanco dvojne plasti in impedanco medija. Z razvojem in prileganjem električnih modelov smo medij in dvojno plast opisali z najboljšim ekvivalentnim električnim vezjem. Preučili smo merilno napako zaradi neupoštevanja efekta dvojne plasti. Napaka je močno odvisna od frekvence vzbujanja in razdalje med elektrodama.
COBISS.SI-ID: 9460564
Predstavljeni so načrtovanje, tehnološki procesi mikroobdelave (100) silicija in stekla ter karakterizacijski postopki za ovrednotenje delovanja mikrosežigalnika. Raziskani so bili pogoji uvajanja in gorenja treh različnih vstopnih energentov (H2+O2, metanol+O2, metanol+air) preko tankoplastnega Pt/CeO2 katalizatorja. Prikazana sta primera uvajanja energentov s predmešanjem metanola in kisika/zraka ter uvajanjem ločenih energentov in mešanje na sami platformi. V slednjem načinu doziranja energentov je bil opazen močan vpliv dvofaznega toka tekočinskega toka kot posledica uparjanja metanola v mikrokanalih pred vstopom v katalitsko izgorevalno komoro. Z uporabo nanodispergirane platine na mezoporozni cerijevi podlagi kot katalizatorja smo dosegli vžig H2-O2 energentov že pri sobni temperature, vžig metanola in zraka pa pri temperature 80 °C. Pri optimalnih pogojih smo dosegli stabilno in kontinuirano delovanje mikrogorilnika pri temperaturah tudi do 290 ±1 °C ob izredno nizki porabi tekočega metanola 1.1 ml/h.
COBISS.SI-ID: 9595732