Študirali smo tanke plasti dielektrikov na osnovi Ta2O5 in Ta2O5 – Al2O3 – SiO2 z molskim razmerjem Ta:Al:Si = 8:1:1, ki smo jih pripravili pri temperaturah do 400 oC s sintezo iz raztopine na podlagah platiniziranega silicija. Plasti so bile rentgensko amorfne. Hrapavost površin ni presegala 0.5 nm. Dielektričnost plasti na osnovi mešanice oksidov, segretih pri 300 – 400 oC, je bila med 19 in 22. Meritve toka v odvisnosti od napetosti so pokazale, da je tok puščanja plasti na osnovi mešanice oksidov pri izbrani temperature vedno nižji kot za sam Ta2O5.
COBISS.SI-ID: 27297831
V delu so opisane lastnosti plasti tankoplastnih kondenzatorjev na osnovi Ta2O5 na steklenih podlagah s prevodno plastjo In2O3-SnO2, ki smo jih pripravili s segrevanjem pri 400 oC. Analiza površine z XPS je potrdila prisotnost oksidov. Plasti so bile amorfne. Površina plasti je bila gladka, s hrapavostjo 0,2 nm (rms), medtem ko je bila hrapavost podlage 1 nm. Optična prepustnost struktur v vidnem delu spektra je presegala 70 %. Vrednosti dielektričnosti plasti, debelih okrog 120 nm, so bile med 19 za Ta2O5-Al2O3-SiO2in 25 za Ta2O5.
COBISS.SI-ID: 27169831
S piezoelektričnim brizgalnim tiskanjem smo pripravili plastne strukture In2O3-ZnO in jih segrevali pri 150 oC in pri 450 oC. Viskoznost in površinsko napetost raztopine heterometalnega prekurzorja smo prilagodili zahtevam tiskalnika. Optimizirali smo pogoje tiskanja, tako da smo dosegli ločljivost 40 mikrometrov na podlagah stekla in SiOx/Si. Strukture so bile po segrevanju pri 150 oC amorfne, pri 450 oC pa kristalinične.
COBISS.SI-ID: 24566311
V članku je opisan postopek priprave okolju prijaznih vodnih suspenzij nano-strukturnih delcev kovinskih oksidov in v nadaljevanju oblikovanje plastne strukture z metodo brizgalnega tiskanja. Kritične stopnje postopka vključujejo pripravo in stabilizacijo nano-delcev v tekočem mediju in prilagajanje fizikalnih lastnosti suspenzije, ki so nujne za uspešno tiskanje. Za poskuse tiskanja modelnega sistema delcev titanovega oksida sta bili viskoznost in površinska napetost suspenzije modificirani z dodatkom površinsko aktivnih snovi in glicerola. Določeni so bili pogoji tiskanja, ki so omogočili ponovljivo tiskanje plastnih struktur.
COBISS.SI-ID: 25158439