V delu so opisane lastnosti plasti tankoplastnih kondenzatorjev na osnovi Ta2O5 na steklenih podlagah s prevodno plastjo In2O3-SnO2, ki smo jih pripravili s segrevanjem pri 400 oC. Analiza površine z XPS je potrdila prisotnost oksidov. Plasti so bile amorfne. Površina plasti je bila gladka, s hrapavostjo 0,2 nm (rms), medtem ko je bila hrapavost podlage 1 nm. Optična prepustnost struktur v vidnem delu spektra je presegala 70 %. Vrednosti dielektričnosti plasti, debelih okrog 120 nm, so bile med 19 za Ta2O5-Al2O3-SiO2in 25 za Ta2O5.
COBISS.SI-ID: 27169831