Vrstični elektronsko/ionski mikroskop SEM/FIB QUANTA 200 3D

Quanta 200 3D je okoljski vrstični elektronski mikroskop z dvojnim curkov – elektronskim in ionskim. Mikroskop ima ime »okoljski« oziroma »ESEM«, ker omogoča delo pri različnih tlakih in do 100 % -ni vlažnosti. Pri visokem vakuumu lahko opazujemo prevodne vzorcev (npr. kovinskih vzorcev ali neprevodnih vzorcev, ki so prevlečeni s prevodno plastjo). Pri nizkem vakuumu lahko opazujemo tako prevodne kot tudi neprevodne vzorce brez predhodne priprave. Pri »ESEM« načinu dela lahko opazujemo vse vrste vzorcev (polimerni materiali, keramika, neprevodne površinske plasti, geološke, biološke in medicinske vzorce), možno je tudi opazovanje vlažnih, mastnih in umazanih vzorcev (sveže rastline, živa bitja ali tkiva) ter in-situ procesov. Z ionsko puško (FIB) lahko opazujemo in tudi obdelujemo materiale (jedkanje površine vzorca, rezanje, poliranje rezane površine, vrisovanje raznih vzorcev na različne materiale ter obdelujemo materiale v nano- in mikroobmočju. Nanos platine zaščiti površino pred poškodbami, ki bi nastale pri ionskem rezanju, omogoča natančnejši rez, zmanjša ali odpravi električno nabijanje neprevodnega vzorca in omogoči prevodne povezave med elementi.

Skrbnik opreme: dr. Franc Zupanič
Uporaba je možna po pedhodnem naročilu in ne vključuje stroškov materiala.