Nalaganje ...
Oprema vir: ARIS

Sistem za pridobivanje ultra čiste vode

Namembnost opreme
Sistem je namenjen pridobivanju izredno čiste deionizirane vode za potrebe mikroelektronskih procesov. Ustreza standardu E2.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme: dr. Danilo Vrtačnik
Sistem je fiksno postavljen in vključen v distribucijsko zanko čistih prostorov. Produkt, DI voda je zato dostopen pod omejenimi pogoji zainteresiranim partnerjem. http://www.fe.uni-lj.si/raziskovanje/oprema/
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
št. Evidenčna št. Naziv Obdobje Vodja Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  P2-0244  Mikrostrukture in nanostrukture  1.1.2004 - 31.12.2008  dr. Slavko Amon  1.364 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  1538  Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko  Ljubljana  1626965  29.189 
Zgodovina ogledov
Priljubljeno