Projekti / Programi
Sinteza in tehnološka realizacija mikrosistemov
01. januar 1999
- 31. december 2003
Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
2.09.00 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
|
Koda |
Veda |
Področje |
T171 |
Tehnološke vede |
Mikroelektronika |
mikromehanika, integrirani magnetni senzor, integrirani optieni senzor pomika, polisilicijeva membrana, metodologija naertovanja mikromehanskih sistemov
Raziskovalci (16)
št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacij |
1. |
18018 |
Ivica Bertocchi |
|
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
0 |
2. |
18019 |
Dubravka Brlan |
|
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
0 |
3. |
18020 |
Boštjan Fink |
|
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
0 |
4. |
17134 |
Ivana Jesenšek |
|
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
0 |
5. |
06932 |
dr. Vinko Kunc |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
101 |
6. |
03494 |
dr. Marijan Maček |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
178 |
7. |
16384 |
dr. Albin Pevec |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
26 |
8. |
00130 |
dr. Anton Pleteršek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
207 |
9. |
01675 |
dr. Dušan Raič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
86 |
10. |
00166 |
dr. Drago Strle |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
244 |
11. |
01717 |
Rozana Škrbec |
|
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
2 |
12. |
19232 |
dr. Anton Štern |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
27 |
13. |
01927 |
dr. Janez Trontelj |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
2001 - 2003 |
569 |
14. |
10476 |
dr. Janez Trontelj ml. |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
57 |
15. |
05648 |
dr. Andrej Vodopivec |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
66 |
16. |
07489 |
dr. Igor Zelinka |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
28 |
Organizacije (1)
Povzetek
V skladu s priporočili poročila mednarodne ocene raziskovalne skupine smo našli raziskovalno in tehnološko nišo mikromehanike, ki ne zahteva nove raziskovalne opreme in že daje izvozne rezultate (firma RLS za katero razvijamo mikrosisteme). Program obsega: Razvoj tehnologije za mikromehaniko (micromachining) s poudarkom na kombinaciji integriranih senzorjev in ustrezne analogno/digitalne elektronike. Razvoj integriranih "pametnih" senzorskih sistemov s senzorji temperature, magnetnega polja, integriranih optičnih merilnih sistemov in infrardečega senzorskega sistema. Razvoj načrtovalske metodologije za načrtovanje elektronskih in senzorskih podsistemov. Razvoj procesnih korakov in testnih postopkov za pilotsko proizvodnjo mikrosistemov. Pri integriranem senzorju magnetnega polja nameravamo razviti in dodelati koncept senzorskega polja, ki smo ga patentirali. Optični sistem za merjenje kota in razdalje s kombinacijo z analognim in digitalnimsignalnim procesiranjem naj bi postal najkompaktnejši enkoder.
Pomen za razvoj znanosti
V širšem merilu je relevantnost v širjenju znanja o naertovalskih metodah za "pametne" senzorje. Izboljšanje merilnega obmoeja senzorjev in izboljšanje toenosti meritve je pomemben osnovni znanstveni dosežek, ki pomaga k razumevanju vrste pojavov veeini naravoslovnih znanosti in pomaga zasnovati vrsto znanstvenih ekspertov, ki posamezno tezo potrdi ali ovrže. Program, ki ga predlagamo pa poleg teoretske zanimivosti uvaja tudi konkretne rešitve in posamezne merilne senzorske sisteme, ki so lahko uporabni za prenos v prakso oziroma v proizvodnjo. Da obstoji širši interes v svetovnem merilu dokazujejo vabljena predavanja na to temo: 1. ETH Zurich - Integrated Hall sensor signal processing for various applications (J.Trontelj); 2. in nekateri patenti, ki so prijavljeni v ZDA, Evropi in nekaterih azijskih in afriških državah.
Pomen za razvoj Slovenije
Merilna tehnika je že po naravi takšna, da omogoča vrsto tržnih niš, kjer lahko Slovenija konkurira na svetovnem tržišču. Taka tržna niša je merjenje kota in razdalje. Zato Laboratorij za mikroelektronske tehnologije na Fakulteti za elektroehniko že dalj časa sodeluje s slovensko firmo RLS Merilna tehnika, ki izvaža na tržišča ZDA, Nemčije, Švice, Francije itd., merilne sisteme, ki vsebujejo pri nas načrtane in izdelane čipe. Pričakujemo še nove firme, ki bodo uporabljale pridobljeno znanje in tehnološke možnosti LMFE. Razvite tehnologije so interesantne tudi za tuje naročnike, zato pričakujemo, da bo po nekem prehodnem obdobju tehnološki laboratorij sposoben preživetja brez subvencij. Razvita načrtovalska tehnologija pa je seveda uporabna tudi za ostala področja v elektroniki.
Najpomembnejši znanstveni rezultati
Zaključno poročilo
Najpomembnejši družbeno–ekonomsko in kulturno relevantni rezultati
Zaključno poročilo