Nalaganje ...
Projekti / Programi vir: ARIS

Sinteza in tehnološka realizacija mikrosistemov

Obdobja
Raziskovalna dejavnost

Koda Veda Področje Podpodročje
2.09.00  Tehnika  Elektronske komponente in tehnologije   

Koda Veda Področje
T171  Tehnološke vede  Mikroelektronika 
Ključne besede
mikromehanika, integrirani magnetni senzor, integrirani optieni senzor pomika, polisilicijeva membrana, metodologija naertovanja mikromehanskih sistemov
Vrednotenje (pravilnik)
vir: COBISS
Raziskovalci (16)
št. Evidenčna št. Ime in priimek Razisk. področje Vloga Obdobje Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  18018  Ivica Bertocchi    Raziskovalec  2001 - 2003 
2.  18019  Dubravka Brlan    Raziskovalec  2001 - 2003 
3.  18020  Boštjan Fink    Raziskovalec  2001 - 2003 
4.  17134  Ivana Jesenšek    Raziskovalec  2001 - 2003 
5.  06932  dr. Vinko Kunc  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  101 
6.  03494  dr. Marijan Maček  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  178 
7.  16384  dr. Albin Pevec  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  26 
8.  00130  dr. Anton Pleteršek  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  207 
9.  01675  dr. Dušan Raič  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  86 
10.  00166  dr. Drago Strle  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  244 
11.  01717  Rozana Škrbec    Raziskovalec  2001 - 2003 
12.  19232  dr. Anton Štern  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  27 
13.  01927  dr. Janez Trontelj  Elektronske komponente in tehnologije  Vodja  2001 - 2003  581 
14.  10476  dr. Janez Trontelj ml.  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  60 
15.  05648  dr. Andrej Vodopivec  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  66 
16.  07489  dr. Igor Zelinka  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2001 - 2003  28 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  1538  Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko  Ljubljana  1626965  27.834 
Povzetek
V skladu s priporočili poročila mednarodne ocene raziskovalne skupine smo našli raziskovalno in tehnološko nišo mikromehanike, ki ne zahteva nove raziskovalne opreme in že daje izvozne rezultate (firma RLS za katero razvijamo mikrosisteme). Program obsega: Razvoj tehnologije za mikromehaniko (micromachining) s poudarkom na kombinaciji integriranih senzorjev in ustrezne analogno/digitalne elektronike. Razvoj integriranih "pametnih" senzorskih sistemov s senzorji temperature, magnetnega polja, integriranih optičnih merilnih sistemov in infrardečega senzorskega sistema. Razvoj načrtovalske metodologije za načrtovanje elektronskih in senzorskih podsistemov. Razvoj procesnih korakov in testnih postopkov za pilotsko proizvodnjo mikrosistemov. Pri integriranem senzorju magnetnega polja nameravamo razviti in dodelati koncept senzorskega polja, ki smo ga patentirali. Optični sistem za merjenje kota in razdalje s kombinacijo z analognim in digitalnimsignalnim procesiranjem naj bi postal najkompaktnejši enkoder.
Pomen za razvoj znanosti
V širšem merilu je relevantnost v širjenju znanja o naertovalskih metodah za "pametne" senzorje. Izboljšanje merilnega obmoeja senzorjev in izboljšanje toenosti meritve je pomemben osnovni znanstveni dosežek, ki pomaga k razumevanju vrste pojavov veeini naravoslovnih znanosti in pomaga zasnovati vrsto znanstvenih ekspertov, ki posamezno tezo potrdi ali ovrže. Program, ki ga predlagamo pa poleg teoretske zanimivosti uvaja tudi konkretne rešitve in posamezne merilne senzorske sisteme, ki so lahko uporabni za prenos v prakso oziroma v proizvodnjo. Da obstoji širši interes v svetovnem merilu dokazujejo vabljena predavanja na to temo: 1. ETH Zurich - Integrated Hall sensor signal processing for various applications (J.Trontelj); 2. in nekateri patenti, ki so prijavljeni v ZDA, Evropi in nekaterih azijskih in afriških državah.
Pomen za razvoj Slovenije
Merilna tehnika je že po naravi takšna, da omogoča vrsto tržnih niš, kjer lahko Slovenija konkurira na svetovnem tržišču. Taka tržna niša je merjenje kota in razdalje. Zato Laboratorij za mikroelektronske tehnologije na Fakulteti za elektroehniko že dalj časa sodeluje s slovensko firmo RLS Merilna tehnika, ki izvaža na tržišča ZDA, Nemčije, Švice, Francije itd., merilne sisteme, ki vsebujejo pri nas načrtane in izdelane čipe. Pričakujemo še nove firme, ki bodo uporabljale pridobljeno znanje in tehnološke možnosti LMFE. Razvite tehnologije so interesantne tudi za tuje naročnike, zato pričakujemo, da bo po nekem prehodnem obdobju tehnološki laboratorij sposoben preživetja brez subvencij. Razvita načrtovalska tehnologija pa je seveda uporabna tudi za ostala področja v elektroniki.
Najpomembnejši znanstveni rezultati Zaključno poročilo
Najpomembnejši družbeno–ekonomsko in kulturno relevantni rezultati Zaključno poročilo
Zgodovina ogledov
Priljubljeno