Projekti / Programi
Sistemi na čipu z integriranimi mikromehanskimi, s THz, z optičnimi, z magnetnimi in z elektrokemijskimi senzorji
01. januar 2009
- 31. december 2013
Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
2.09.00 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
|
Koda |
Veda |
Področje |
T171 |
Tehnološke vede |
Mikroelektronika |
Koda |
Veda |
Področje |
2.10 |
Tehniške in tehnološke vede |
Nanotehnologija |
mikrosistemi, mikromembrana, integrirani Hallov element, integrirana fotodioda IR, načrtovanje mikrosistemov
Raziskovalci (24)
št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacij |
1. |
18018 |
Ivica Bertocchi |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
0 |
2. |
18019 |
Dubravka Brlan |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
0 |
3. |
33297 |
Mitja Brlan |
|
Tehnični sodelavec |
2011 - 2013 |
0 |
4. |
24915 |
Bruno Cacovich |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
0 |
5. |
18020 |
Boštjan Fink |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
0 |
6. |
24914 |
Carmen Hladnik Prosenc |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
0 |
7. |
17134 |
Ivana Jesenšek |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2010 |
0 |
8. |
03773 |
dr. Drago Kostevc |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2013 |
79 |
9. |
10303 |
Ratimir Kuzma Cigoj |
Elektronske komponente in tehnologije |
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
0 |
10. |
01923 |
dr. Ivan Jan Lokovšek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2012 |
25 |
11. |
03494 |
dr. Marijan Maček |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2013 |
178 |
12. |
24916 |
Franci Novak |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
0 |
13. |
01118 |
dr. Radko Osredkar |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2010 |
430 |
14. |
00130 |
dr. Anton Pleteršek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2013 |
207 |
15. |
28469 |
dr. Jurij Podržaj |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2010 |
28 |
16. |
01675 |
dr. Dušan Raič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2012 |
86 |
17. |
02377 |
dr. Vojan Rozman |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2012 |
79 |
18. |
24326 |
dr. Aleksander Sešek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2013 |
132 |
19. |
00166 |
dr. Drago Strle |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2013 |
244 |
20. |
01717 |
Rozana Škrbec |
|
Tehnični sodelavec |
2009 - 2013 |
2 |
21. |
30677 |
dr. Blaž Šmid |
Meroslovje |
Mladi raziskovalec |
2009 - 2013 |
19 |
22. |
01927 |
dr. Janez Trontelj |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
2009 - 2013 |
569 |
23. |
10476 |
dr. Janez Trontelj ml. |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2009 - 2013 |
57 |
24. |
36455 |
dr. Rok Vrtovec |
Električne naprave |
Mladi raziskovalec |
2013 |
8 |
Organizacije (1)
Povzetek
Raziskovalni program obsega študij, raziskave in razvoj naslednjih mikrosistemov.
1. Mikrosistem z integrirano membrano iz polisilicija primeren za ''pametne'' senzorje mikropomikov in tlaka.
2. Mikrosistem z integriranim poljem fotodiod za merjenje absolutne in relativne pozicije do področja nanometrskih dimenzij.
3. Mikrosistem z integriranim poljem magnetnih senzorjev za precizno merjenje magnetnega polja in osledično za merjenje pomika ali toka.
4. V program smo vnesli tudi obetavno novo področje, to so integrirani elektrokemijski mikrosenzorji.
Za vse navedene mikrosisteme je potrebno dodati obsežno analogno in digitalno procesiranje signala senzorja, saj so integrirani senzorji po pravilu nenatančni in je treba vse njihove slabosti kompenzirati z dodatnim procesiranjem, najprej z analognimi metodami in nato še z dodanim DSPjem (Digitalno Signalno Procesiranje).
Da postane tak mikrosistem zanimiv za uporabnike, je treba dodati še vse zahtevane sistemske funkcije, ki jih definira uporabnik.
V slovenskem prostoru so naši najpomembnejši uporabniki RLS Merilna tehnika in Iskra TELA, v zahodni Evropi pa Renishaw v Veliki Britaniji in Sensordynamics v Avstriji.
Poleg raziskovalnih in teoretičnih dosežkov so cilji raziskave tudi dejanske izvedbe vseh tipov mikrosistemov za znane naročnike. Pri tem ciljamo na odličnost tako s stališča teoretičnih dosežkov kakor tudi na takšne praktične realizacije, ki bodo pomagale našim naročnikom doseči konkurenčno prednost pred proizvajalci iz razvitejšega okolja.
Pomen za razvoj znanosti
Raziskovalci programske skupine so pridobili 9 mednarodnih patentov, 9 domačih patentov in vložili 11 patentnih prijav. So soavtorji 23 znanstvenih člankov s faktorjem vpliva. Odmevni znanstveni rezultati skupine so nedvomno na področju zahtevnih senzorjev par v zraku. Gre za izjemno majhne koncentracije molekul nevarnih snovi, ki jih je možno detektirati le z inovativno tehnologijo zasnove senzorjev, tehnologijo funkcionalizacije in signalnega procesiranja. Pri vseh teh aktivnostih raziskovalci v LMFE orjejo ledino in doprinašajo originalne znanstvene rešitve, ki jih tudi publicirajo, vendar nekoliko zadržano, da ne bi prehitro izgubili vodilne vloge pred raziskovalci, ki imajo neprimerno več možnosti zaradi za več velikostnih razredov večjega financiranja, opreme in kadrov. Še bolj odmevni znanstveni rezultati skupine pa so raziskave THz valovanja, predvsem na področju izboljšanja občutljivosti in šumnih lastnosti THz senzorjev. Razvili smo trenutno najboljši antensko spojen bolometer, ki deluje pri sobni temperaturi in ki ima občutljivost v območju 1000V/W, šumno moč 5pW/?Hz in odzivni čas manj kot 1µs. S tem smo uvrstili Slovenijo med države, ki so v vrhu te visoke tehnologije in je vabljena na vrsto mednarodnih srečanj posvečenih prihajajoči novi tehnologiji THz žarkov, ki bo marsikje nadomestila rentgenske žarke. Prijavili so patent v Angliji, predavajo o dosežkih na vseh mednarodnih konferencah. S tem vplivajo na razvoj znanosti na področju THz.
Pomen za razvoj Slovenije
LMFE je od svojega nastanka izjemno močno vpet v slovensko elektroindustrijo in je bil ključen za nekatere velike in pomembne slovenske tovarne. Danes eno najhitrejše rastočih podjetij na področju elektronike v Sloveniji je RLS Merilna tehnika, za katero je LMFE prispeval raziskovalno in znanstveno podlago in v mnogih primerih tudi razvil ali celo izdeloval specialna integrirana vezja. Več desetletni izvozni izdelek Fotone je bil daljinomer z veliko dodano vrednostjo. Zanj je LMFE razvil in izdeloval večino elektronike z vrhunskimi integriranimi vezji. Iskraemeco je bila med prvimi svetovnimi izvozniki elektronskih števcev električne energije, kjer je pri obeh verzijah LMFE sodeloval in pomembno vplival na uspešnost produktov. LMFE uspešno premošča znanstveno raziskovalno sfero s slovensko in tujo industrijo. Tesna povezava z RLS je tej omogočila mesto med najodličnejšimi v svetovni metrologiji. Tu je posebno pomemben hiter prenos znanstvene inovacije v produkt, ki je industrijsko izvedljiv. Dosedanji uspehi LMFE potrjujejo, da raziskovalci LMFE poleg tega, da rešujejo raziskovalne probleme večinoma vidijo tudi potencial za industrijo in so sposobni reševati konkretne probleme industrije. Velik potencial ima raziskava senzorjev par. Ob ustreznem odzivu slovenskega gospodarstva bi lahko postavili novo proizvodnjo s sodelovanjem LMFE. V najslabšem primeru, pa bi lahko privabili tujega vlagatelja, ki bi investiral pri nas. Potencial za slovensko gospodarstvo predstavlja tudi razvoj THz tehnologije, saj bi morali znati izkoristiti naš primat na področju senzorja, ki ima najboljše znane lastnosti pri sobni temperaturi.
Najpomembnejši znanstveni rezultati
Letno poročilo
2009,
2010,
2011,
2012,
zaključno poročilo,
celotno poročilo na dLib.si
Najpomembnejši družbeno–ekonomsko in kulturno relevantni rezultati
Letno poročilo
2009,
2010,
2011,
2012,
zaključno poročilo,
celotno poročilo na dLib.si