Projekti / Programi
Nove senzorske in aktuatorske strukture
01. januar 1999
- 31. december 2003
| Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
| 2.09.00 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
|
| 2.15.00 |
Tehnika |
Meroslovje |
|
| Koda |
Veda |
Področje |
| T150 |
Tehnološke vede |
Tehnologija materialov |
| T170 |
Tehnološke vede |
Elektronika |
| T181 |
Tehnološke vede |
Daljinsko zaznavanje |
| T190 |
Tehnološke vede |
Elektriško inženirstvo |
| T115 |
Tehnološke vede |
Medicinska tehnologija |
senzorske strukture, aktuatorske strukture, detektorske strukture radiacije, SiGe strukture, oženje prepovedanega pasu, efektivna masa vrzeli, zaključitvene strukture, 3D strukture, modeliranje procesa, modeliranje elementov, mikroobdelava silicija, anizotropno jedkanje
nizkotemperaturne meritve, modeliranje procesa, modeliranje elementov,
mikroobdelava, 3D strukture, senzorske strukture, aktuatorske strukture,
piezorezistivnost, membrane, odebeljene membrane, integracija 3D struktur,
mokro jedkanje, suho jedkanje, plazemsko jedkanje, izotropno jedkanje,
anizotropno jedkanje, samokompenzacija jedkanja, spajanje ploščic
Raziskovalci (9)
| št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
| 1. |
11682 |
mag. Uroš Aljančič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2003 |
206 |
| 2. |
01926 |
dr. Slavko Amon |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
2001 - 2003 |
473 |
| 3. |
17125 |
Matjaž Cvar |
|
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
8 |
| 4. |
04721 |
dr. Andrej Levstek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2003 |
103 |
| 5. |
20186 |
dr. Matej Možek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
270 |
| 6. |
02313 |
dr. Boštjan Peršič |
Energetika |
Raziskovalec |
2001 - 2002 |
138 |
| 7. |
05075 |
dr. Drago Resnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
261 |
| 8. |
02303 |
dr. Gabrijel Tomšič |
Matematika |
Raziskovalec |
2001 - 2002 |
111 |
| 9. |
04383 |
dr. Danilo Vrtačnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2001 - 2003 |
309 |
Organizacije (1)
Povzetek
V žarišču zanimanja mednarodne skupnosti na raziskovalnem področju polprevodniških, senzorskih in aktuatorskih struktur so danes problemi poglobljenega razumevanja osnovnih efektov, ki se odvijajo v teh, po mnenju mnogih strokovnjakov z različnih področij znanosti v svetu in pri nas, za nadaljni razvoj človeštva osnovnih strukturah.Po temeljiti analizi obstoječih virov iz literature kot tudi našega dosedanjega raziskovalnega dela na predlaganem raziskovalnem področju predlagamo naslednji raziskovalni program: A. Na področju senzorskih struktur za detekcijo sevanj:vpliv strukture na izkoristek zbiranja generiranih nosilcev; delovanje, strukture in integracije JFET-ov v senzorskih strukturah; odvisnost električnih parametrov od strukturnih parametrov; osnovni pojavi v tehnoloških procesih; merilne metode za karakterizacijo struktur; načrtovanje novih izboljšanih senzorskih struktur; modeliranjeB. Na področju Si in SiGe struktur:zaklučitvene strukture, prebojne lastnosti in puščanje (leakage) pn-spojev; efekti visoke koncentracije primesi; navidezno (apparent) oženje prepovedanega pasu (band gap narrowing - bgn); model za efektivno maso vrzeli v širokem intervalu temperatur, dopiranja in dodatka Ge; modeliranje struktur ob upoštevanju izboljšanih modelov za efektivno maso vrzeli; merilne metode za karakterizacijo električnih lastnosti struktur v širokem temperaturnem intervalu (od sobne temperature navzdol do 77K in nižje)C. Na področju 3D struktur:raziskave in izpopolnjevanje obstoječih simulacijskih programov in modelov; modeliranje struktur; napredne strukture (zaščita struktur pred mehanskimi preobremenitvami - overpressure protection, bossed diaphragms, piezoresistivnost, piezoelektričnost itd.); zaščitne plasti; integracije različnih strukturD. Na področju mikroobdelave silicija:mikroobdelava (micromachining) silicija; realizacije senzorskih in aktuatorskih mikroelektromehanskih (MEM) struktur z uporabo tehnik mikroobdelave silicija; izdelava tankih silicijevih membran; osnovni pojavi pri mikroobdelavi 3D struktur silicija s pomočjo anizotropnega jedkanja; večnivojska mikroobdelava; spajanje(bondiranje) 3D struktur
Pomen za razvoj znanosti
Rezultati predloženega raziskovalnega programa se bodo, kot je razvidno iz doma in v svetu obstoječih študij in napovedi glede nadaljnjega razvoja človeštva, odrazili v nadaljnjem napredku na mnogih pomembnih področjih znanosti in tehnologije kot npr:- na področju bazičnih infrastrukturnih znanosti ( vede o materialih, vede o osnovnih efektih v novih materialih in strukturah, vede o tehnologijah, elektronika, računalništvo, telekomunikacije, povezave računalnikov z okoljem itd.)- na področju kvalitete življenja in zdravja, npr. v medicini (nove metode diagnostike, izboljšan nadzor nad virusnimi in infekcijskimi boleznimi in drugo)- človeku prijazne informacijske družbe, zlasti glede sistemov in storitev za uporabnike, novih metod dela in elektronskega poslovanja ter glede ključnih tehnologij in infrastrukture- spodbujanja konkurenčnosti in gospodarske rasti, zlasti glede izboljšanih proizvodov in procesov, prometnih sistemov, novih tehnologij in drugo- varovanja okolja, zlasti glede vodnih virov, globalnih okolnih in klimatskih sprememb ter varčne izrabe energije
Pomen za razvoj Slovenije
Rezultati predlaganega raziskovalnega programa bodo imeli zaradi svoje infrastrukturne narave velik vpliv tudi na razmere v Sloveniji. Ti rezultati se bodo, kot je razvidno iz obstoječih študij in napovedi glede nadaljnjega razvoja, nedvomno močno odrazili tudi v nadaljnjem napredku na mnogih pomembnih področjih znanosti in tehnologije v Sloveniji, kot npr.:- na področju bazičnih infrastrukturnih znanosti ( vede o materialih, vede o osnovnih efektih v novih materialih in strukturah, vede o tehnologijah, elektronika, računalništvo, telekomunikacije, povezave računalnikov z okoljem itd.)- na področju kvalitete življenja in zdravja, npr. v medicini (nove metode diagnostike, izboljšan nadzor nad virusnimi in infekcijskimi boleznimi in drugo)- človeku prijazne informacijske družbe, zlasti glede sistemov in storitev za uporabnike, novih metod dela in elektronskega poslovanja ter glede ključnih tehnologij in infrastrukture- spodbujanja konkurenčnosti in gospodarske rasti, zlasti glede izboljšanih proizvodov in procesov, prometnih sistemov, novih tehnologij in drugo- varovanja okolja, zlasti glede vodnih virov, globalnih okolnih in klimatskih sprememb ter varčne izrabe energije- izenačen položaj Slovenije pri vključevanju v Evropo in širše
Najpomembnejši znanstveni rezultati
Zaključno poročilo
Najpomembnejši družbeno–ekonomsko in kulturno relevantni rezultati
Zaključno poročilo
