Projekti / Programi
Mikrostrukture in nanostrukture
01. januar 2014
- 31. december 2017
Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
2.09.00 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
|
2.09.02 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
Elektronske komponente |
Koda |
Veda |
Področje |
T001 |
Tehnološke vede |
Elektronika in elektriška tehnologija |
Koda |
Veda |
Področje |
2.02 |
Tehniške in tehnološke vede |
Elektrotehnika, elektronika in informacijski inženiring |
Raziskovalci (15)
št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
1. |
11682 |
mag. Uroš Aljančič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Tehnični sodelavec |
2014 - 2017 |
206 |
2. |
01926 |
dr. Slavko Amon |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2014 - 2017 |
473 |
3. |
17125 |
Matjaž Cvar |
|
Tehnični sodelavec |
2014 - 2017 |
8 |
4. |
34539 |
dr. Tine Dolžan |
Elektronske komponente in tehnologije |
Mladi raziskovalec |
2014 - 2016 |
37 |
5. |
01924 |
dr. Jože Furlan |
Energetika |
Raziskovalec |
2014 - 2016 |
521 |
6. |
28464 |
dr. Mateja Hočevar |
Kemija |
Raziskovalec |
2015 - 2017 |
69 |
7. |
10269 |
dr. Dejan Križaj |
Sistemi in kibernetika |
Raziskovalec |
2014 - 2017 |
308 |
8. |
04721 |
dr. Andrej Levstek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2014 - 2017 |
103 |
9. |
50660 |
dr. Nina Lokar |
Kemijsko inženirstvo |
Mladi raziskovalec |
2017 |
13 |
10. |
20186 |
dr. Matej Možek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2014 - 2017 |
270 |
11. |
15463 |
dr. Urša Opara Krašovec |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2015 - 2017 |
264 |
12. |
30683 |
dr. Borut Pečar |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2014 - 2017 |
118 |
13. |
05075 |
dr. Drago Resnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2014 - 2017 |
261 |
14. |
34538 |
dr. Tjaša Vidmar |
Elektronske komponente in tehnologije |
Mladi raziskovalec |
2015 - 2017 |
27 |
15. |
04383 |
dr. Danilo Vrtačnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
2014 - 2017 |
309 |
Organizacije (1)
Povzetek
Predlagani raziskovalni program mikro/nanostruktur bo primarno temeljil na visoko-tehnološki silicijevi in MEMS opremi v LMSE/UL FE ter bo nadgrajen z inovativnimi pristopi, kar bo vodilo do novih znanstvenih spoznanj, naprednih MEMS mikrostruktur in njihovih aplikacij.
Raziskave in razvoj novih tehnoloških procesov suhega usmerjenega jedkanja z globokim reaktivnim ionskim jedkanjem (DRIE) bodo usmerjene v optimizacijo 2-cikličnega Bosch procesa in nadgradnjo z raziskavami več-zančnega 2-cikličnega Bosch postopka, 3-cikličnega Bosch postopka ter usmerjenega jedkanja v kombinaciji z ICP izotropnim jedkanjem. Poleg tega bodo predmet raziskav tudi procesi za formiranje nanostrukturiranega črnega silicija ter samostoječih struktur na siliciju.
Raziskali in razvili bomo nove PECVD depozicijske postopke za izdelavo tankih amorfnih plasti iz SiNx, SiOx in SiOxNy s kontroliranimi lastnostmi, pomembnimi za raziskave ročičnih in membranskih silicijevih struktur in za maske pri suhem jedkanju silicija.
Tanke metalizacijske plasti za realizacijo elektrod, spajkljivih kontaktov, senzorjev in mikrogrelcev na različnih substratih (silicij steklo, PDMS, poliimidih) bodo eno od pomembnih raziskovalnih področij. Raziskave Cr/Au ali Ti/Pt tankoplastnih planarnih kovinskih elektrod na Pyrex steklu ali na Si bodo razširjene tudi na področje metaliziranih polj Si mikrokonic kot elektrod za bioimpedančne meritve.
Raziskave na področje mikrofluidnih tehnologij bodo temeljile na substratih silicija in stekla ali polimernih materialov, npr. polydimetilsiloksana (PDMS), primernih za izdelavo mikrokomponent kot so npr. mikrokanali, delilniki, mikročrpalke, komore, mikroventili, mikrokonice, mikroelektrode, prevodi (vias), itd. ter integraciji mikrosenzorjev (tlak, temperatura, pretok in drugo).
V ta namen bomo raziskali bondirne tehnologije in principe bondiranja PDMS/ PDMS, PDMS/steklo, PDMS/silicij) s poudarkom na primerni površinski obdelavi in modifikaciji površine.
Delo na raziskavah in razvoju piezoelektričnih aktuatorskih struktur, kot so npr. mikročrpalke, bo usmerjeno k nadaljnji miniaturizaciji mikročrpalk, povečani tlačni zmogljivosti, delovanju pri nižjih napajalnih napetostih, zanesljivosti delovanja in dolgoročni stabilnosti.
Raziskave na področju mikro/nano struktur bodo podprte z numeričnimi simulacijami v okolju COMSOL Multiphysics. Vključitev novih fizikalnih modelov bo omogočila virtualno testiranje in optimizacijo izdelanih mikrosistemov.
Pri raziskavah pametne elektronike se bomo osredotočili tudi na področje mikrofluidike, kot npr. na krmiljenje mikročrpalk ter na aplikacijo pametnih senzorjev za izvedbo kompleksnejših regulacijskih sistemov z mikrofluidnimi elementi.
Pomen za razvoj znanosti
Predložene raziskave na področju mikro/nano struktur predstavljajo infrastrukturo oz. osnovo za razvoj pomembnih naprednih znanstveno-raziskovalnih področij kot so npr. vede o mikro/nano materialih in tehnologijah, mikro/nano senzorji in aktuatorji, MEMSi(Micro-Electro-Mechanical Systems), mikrofluidika, mikroreaktorji, numerično modeliranje tehnoloških procesov, numerično modeliranje pojavov v mikro/nano strukturah, informacijska in računalniška znanost in tehnologija, napredna elektronika senzorskih, aktuatorskih, krmilnih in komunikacijskih sistemov in drugo.
Na osnovi našega dosedanjega raziskovalnega dela pričakujemo, da bomo kvalitetne izvirne rezultate naših raziskav objavili v uglednih znanstvenih revijah in konferencah
Pomen za razvoj Slovenije
Predložene raziskave na področju mikro/nano materialov, tehnologij in struktur bodo zaradi svojega splošnega infrastrukturnega značaja nedvomno imele odločilen vpliv na družbeno-ekonomski in kulturni razvoj Slovenije, podobno kot mikroelektronika pred desetletji na razvoj računalništva in informatike ter s tem na splošni napredek slovenske družbe.
Rezultati takih raziskav se bodo, kot je razvidno iz obstoječih študij in napovedi glede nadaljnjega človeškega razvoja, nedvomno močno odrazili tudi v napredku na mnogih pomembnih področjih znanosti in tehnologije kot tudi ekonomije v Sloveniji, kot npr.:
- spodbujanje produktivnosti, konkurenčnosti in gospodarske rasti na področju naprednih
tehnologij in izdelkov z visoko dodano vrednostjo
-obvladovanje novih sistemov in storitev za uporabnike, novih metod dela ter ključnih
tehnologij
- na področju izobraževanja kadrov za potrebe industrijskih partnerjev
- dostopanje do tujih znanj preko mednarodnega sodelovanja enakopravnih partnerjev
- pospešen razvoj stroke in inženirske prakse
Najpomembnejši znanstveni rezultati
Letno poročilo
2014,
2015,
2016,
zaključno poročilo
Najpomembnejši družbeno–ekonomsko in kulturno relevantni rezultati
Letno poročilo
2014,
2015,
2016,
zaključno poročilo