Nalaganje ...
Projekti / Programi vir: ARIS

Mikrostrukture in nanostrukture

Obdobja
Raziskovalna dejavnost

Koda Veda Področje Podpodročje
2.09.00  Tehnika  Elektronske komponente in tehnologije   
2.09.02  Tehnika  Elektronske komponente in tehnologije  Elektronske komponente 

Koda Veda Področje
T001  Tehnološke vede  Elektronika in elektriška tehnologija 

Koda Veda Področje
2.02  Tehniške in tehnološke vede  Elektrotehnika, elektronika in informacijski inženiring 
Vrednotenje (pravilnik)
vir: COBISS
Raziskovalci (15)
št. Evidenčna št. Ime in priimek Razisk. področje Vloga Obdobje Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  11682  mag. Uroš Aljančič  Elektronske komponente in tehnologije  Tehnični sodelavec  2014 - 2017  206 
2.  01926  dr. Slavko Amon  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2014 - 2017  473 
3.  17125  Matjaž Cvar    Tehnični sodelavec  2014 - 2017 
4.  34539  dr. Tine Dolžan  Elektronske komponente in tehnologije  Mladi raziskovalec  2014 - 2016  37 
5.  01924  dr. Jože Furlan  Energetika  Raziskovalec  2014 - 2016  521 
6.  28464  dr. Mateja Hočevar  Kemija  Raziskovalec  2015 - 2017  69 
7.  10269  dr. Dejan Križaj  Sistemi in kibernetika  Raziskovalec  2014 - 2017  308 
8.  04721  dr. Andrej Levstek  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2014 - 2017  103 
9.  50660  dr. Nina Lokar  Kemijsko inženirstvo  Mladi raziskovalec  2017  13 
10.  20186  dr. Matej Možek  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2014 - 2017  270 
11.  15463  dr. Urša Opara Krašovec  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2015 - 2017  264 
12.  30683  dr. Borut Pečar  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2014 - 2017  118 
13.  05075  dr. Drago Resnik  Elektronske komponente in tehnologije  Raziskovalec  2014 - 2017  261 
14.  34538  dr. Tjaša Vidmar  Elektronske komponente in tehnologije  Mladi raziskovalec  2015 - 2017  27 
15.  04383  dr. Danilo Vrtačnik  Elektronske komponente in tehnologije  Vodja  2014 - 2017  309 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacijŠtev. publikacij
1.  1538  Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko  Ljubljana  1626965  27.758 
Povzetek
Predlagani raziskovalni program mikro/nanostruktur bo primarno temeljil na visoko-tehnološki silicijevi in MEMS opremi v LMSE/UL FE ter bo nadgrajen z inovativnimi pristopi, kar bo vodilo do novih znanstvenih spoznanj, naprednih MEMS mikrostruktur in njihovih aplikacij. Raziskave in razvoj novih tehnoloških procesov suhega usmerjenega jedkanja z globokim reaktivnim ionskim jedkanjem (DRIE) bodo usmerjene v optimizacijo 2-cikličnega Bosch procesa in nadgradnjo z raziskavami več-zančnega 2-cikličnega Bosch postopka, 3-cikličnega Bosch postopka ter usmerjenega jedkanja v kombinaciji z ICP izotropnim jedkanjem. Poleg tega bodo predmet raziskav tudi procesi za formiranje nanostrukturiranega črnega silicija ter samostoječih struktur na siliciju. Raziskali in razvili bomo nove PECVD depozicijske postopke za izdelavo tankih amorfnih plasti iz SiNx, SiOx in SiOxNy s kontroliranimi lastnostmi, pomembnimi za raziskave ročičnih in membranskih silicijevih struktur in za maske pri suhem jedkanju silicija. Tanke metalizacijske plasti za realizacijo elektrod, spajkljivih kontaktov, senzorjev in mikrogrelcev na različnih substratih (silicij steklo, PDMS, poliimidih) bodo eno od pomembnih raziskovalnih področij. Raziskave Cr/Au ali Ti/Pt tankoplastnih planarnih kovinskih elektrod na Pyrex steklu ali na Si bodo razširjene tudi na področje metaliziranih polj Si mikrokonic kot elektrod za bioimpedančne meritve. Raziskave na področje mikrofluidnih tehnologij bodo temeljile na substratih silicija in stekla ali polimernih materialov, npr. polydimetilsiloksana (PDMS), primernih za izdelavo mikrokomponent kot so npr. mikrokanali, delilniki, mikročrpalke, komore, mikroventili, mikrokonice, mikroelektrode, prevodi (vias), itd. ter integraciji mikrosenzorjev (tlak, temperatura, pretok in drugo). V ta namen bomo raziskali bondirne tehnologije in principe bondiranja PDMS/ PDMS, PDMS/steklo, PDMS/silicij) s poudarkom na primerni površinski obdelavi in modifikaciji površine. Delo na raziskavah in razvoju piezoelektričnih aktuatorskih struktur, kot so npr. mikročrpalke, bo usmerjeno k nadaljnji miniaturizaciji mikročrpalk, povečani tlačni zmogljivosti, delovanju pri nižjih napajalnih napetostih, zanesljivosti delovanja in dolgoročni stabilnosti. Raziskave na področju mikro/nano struktur bodo podprte z numeričnimi simulacijami v okolju COMSOL Multiphysics. Vključitev novih fizikalnih modelov bo omogočila virtualno testiranje in optimizacijo izdelanih mikrosistemov. Pri raziskavah pametne elektronike se bomo osredotočili tudi na področje mikrofluidike, kot npr. na krmiljenje mikročrpalk ter na aplikacijo pametnih senzorjev za izvedbo kompleksnejših regulacijskih sistemov z mikrofluidnimi elementi.
Pomen za razvoj znanosti
Predložene raziskave na področju mikro/nano struktur predstavljajo infrastrukturo oz. osnovo za razvoj pomembnih naprednih znanstveno-raziskovalnih področij kot so npr. vede o mikro/nano materialih in tehnologijah, mikro/nano senzorji in aktuatorji, MEMSi(Micro-Electro-Mechanical Systems),  mikrofluidika, mikroreaktorji, numerično modeliranje tehnoloških procesov, numerično modeliranje pojavov v mikro/nano strukturah, informacijska in računalniška znanost in tehnologija, napredna elektronika senzorskih, aktuatorskih, krmilnih in komunikacijskih sistemov in drugo. Na osnovi našega dosedanjega raziskovalnega dela pričakujemo, da bomo kvalitetne izvirne rezultate naših raziskav objavili v uglednih znanstvenih revijah in konferencah
Pomen za razvoj Slovenije
Predložene raziskave na področju mikro/nano materialov, tehnologij in struktur bodo zaradi svojega splošnega infrastrukturnega značaja nedvomno  imele odločilen vpliv na družbeno-ekonomski in kulturni razvoj Slovenije, podobno kot mikroelektronika pred desetletji na razvoj računalništva in informatike ter s tem na splošni napredek slovenske družbe. Rezultati takih raziskav se bodo, kot je razvidno iz obstoječih študij in napovedi glede nadaljnjega človeškega razvoja, nedvomno močno odrazili tudi v napredku na mnogih pomembnih področjih znanosti in tehnologije kot tudi ekonomije v Sloveniji, kot npr.: - spodbujanje produktivnosti, konkurenčnosti in gospodarske rasti na področju naprednih   tehnologij in izdelkov z visoko dodano vrednostjo -obvladovanje novih sistemov in storitev za uporabnike, novih metod dela ter ključnih  tehnologij - na področju izobraževanja kadrov za potrebe industrijskih partnerjev - dostopanje do tujih znanj preko mednarodnega sodelovanja enakopravnih partnerjev - pospešen razvoj stroke in inženirske prakse
Najpomembnejši znanstveni rezultati Letno poročilo 2014, 2015, 2016, zaključno poročilo
Najpomembnejši družbeno–ekonomsko in kulturno relevantni rezultati Letno poročilo 2014, 2015, 2016, zaključno poročilo
Zgodovina ogledov
Priljubljeno